Lieu d'origine: | La Chine |
Nom de marque: | Brother Furnace |
Certification: | CE |
Numéro de modèle: | BR-PECVD |
Quantité de commande min: | 1 jeu |
---|---|
Prix: | Negotiation |
Détails d'emballage: | Boîte en bois forte pour l'expédition globale |
Délai de livraison: | 7-21 jours ouvrables |
Conditions de paiement: | L / C, T / T, Western Union |
Capacité d'approvisionnement: | 200 ensembles par mois |
Température maximale: | 1200℃ | Vide normal: | -0.1Mpa |
---|---|---|---|
Vide maximum: | Pompe moléculaire de configuration, PA du vide 7x10-4 (facultative) | Bride: | bride de cachetage de l'acier inoxydable 304 |
Protection de surchauffe: | puissance- automatique quand la température dépasse la valeur réglée permise | Protection de sécurité: | Automatiquement mise hors tension quand le corps de four coule |
Structure de four: | ventilateur en acier de double couche double, température de surface au-dessous de 50℃ | TAUX DE CHAUFFAGE DE MAX: | 20°C /min |
Exactitude de la température: | ±1℃ | Uniformité de la température: | ±5℃ |
Contrôle de température: | 50 segments programmables et contrôle automatique | Tube de four: | Tube de quartz |
Application: | Four de tube fendu du laboratoire PECVD avec le tube de quartz | ||
Surligner: | four de tube tournant,four de tube de quartz |
Pièces de rechange de norme :
Pièces de rechange facultatives :
Spécifications standard fendues de four de tube du laboratoire PECVD :
1. Système de chauffage | ||
Max.temperature | 1200℃ (1 heure) | |
La température fonctionnante | ≤1100℃ | |
Taille de chambre | Φ100*1650mm (le diamater de tube est personnalisable) | |
Matériel de chambre | Panneau de particules d'alumine de grande pureté | |
Thermocouple | Type de K | |
Temperatureaccuracy | ±1℃ | |
Contrôle de température |
segments programmables du ● 50 pour le contrôle précis du taux de chauffage, du taux de refroidissement et du temps de pause. ● établi dans la fonction d'Automatique-air de PID avec la protection cassée par thermocouple de surchauffe et cassée. Système de contrôle automatique de PLC de ● par le contrôleur de PC à l'intérieur. Le ● le système de contrôle de température, glissant le système (temps et distance) pourrait être commandé par programme. |
|
Longueur de chauffage | 440mm | |
Longueur constante de chauffage | 200mm | |
Élément de chauffe | Fil de résistance | |
Alimentation d'énergie | Monophasé, 220V, 50Hz | |
Puissance évaluée | 9kW | |
2. Source de plasma de rf | ||
Fréquence de rf | 13,56 MHz±0.005% | |
De puissance de sortie | 500W | |
Maximum reflétez la puissance | 500W | |
Le rf a produit l'interface | 50 Ω, de type n, femelles | |
Stabilité de puissance | ±0.1% | |
Composant harmonique | ≤-50dbc | |
Tension d'alimentation/fréquence | Monophasé AC220V 50/60HZ | |
Efficacité entière | >=70% | |
Facteur de puissance | >=90% | |
Méthode de refroidissement | À air forcé | |
3. Système de contrôle de masse de trois débitmètres de précision | ||
Dimension externe | 600x600x650mm | |
Type de connecteur | Joint de Swagelok solides solubles | |
Gamme standard (N2) | 0~100sccm, 0~200sccm, ou personnalisable | |
Exactitude | ±1.5% | |
Linéaire | ±0.5~1.5% | |
Répétabilité | ±0.2% | |
Temps de réponse |
Propriété de gaz : Sec 1~4 ; |
|
Chaîne de pression | 0.1~0.5 MPA | |
Max.pressure | 3MPa | |
Interface | Φ6,1/4 » | |
Affichage | affichage de 4 chiffres | |
Température ambiante | gaz de la grande pureté 5~45 | |
Indicateur de pression | - 0.1~0.15 MPA, 0,01 MPA/unité | |
La soupape d'arrêt | Φ6 | |
Polissez le tube de solides solubles | Φ6 | |
Bas système de vide inclus |
Pourquoi four de tube fendu du laboratoire PECVD du frère ?
Les clients de plus de 30 pays nous choisissent
Le meilleur service, réponse rapide
Si vous êtes intéressé par notre haut four de tube fendu du laboratoire PECVD de la température avec le tube de quartz, contactez-nous maintenant pour obtenir une citation !
Personne à contacter: li
Téléphone: +8613526693072